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Halbleiter - Herstellungsprozess

 

Herstellungsprozess

Elementare und Verbindungshalbleiter werden in aller Regel durch Epitaxie (LPE, MBE, MOVPE, CVD, PVD, IBAD, vgl. Beschichtungsverfahren) hergestellt. Bei der Epitaxie wird ein geordnetes Kristallwachstum von einem einkristallinen Substrat auf eine wachsende Schicht übertragen. Bei der Homoepitaxie wird dabei im Gegensatz zur Heteroepitaxie für die Schicht das selbe Material wie für das Substrat verwendet.

Organische Halbleiter werden - sofern es sich um kleine Moleküle handelt - mit ähnlichen Verfahren hergestellt, wie dies bei anorganischen Halbleitern der Fall ist. Handelt es sich bei den organischen Halbleitern jedoch um größere Moleküle, werden sie in gelöster Form mittels Rotationsbeschichten hergestellt oder gedruckt.

 

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